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BOC EDWARDS真空隔離閥VIV25EKA

產品介紹

VIV 真空隔離閥旨在與 nXDS、XDS、nXLi 和 nXRi 干式初級泵一起使用,是一種高電導、快速作用的高真空隔離閥,旨在防止蒸汽或顆粒從前級泵移動到工藝室 . 當 VIV 關閉時,前級泵排氣。 當泵停止或停止時,VIV 可保護工藝室不被通風。 當前級泵重新啟動時,閥門將在 VIV 內的壓力下降時緩慢打開,從而大限度地減少任何壓力爆裂的影響。

性能特點

  • VIV 閥具有高傳導性
  • 快速關閉動作
  • 斷電保護
  • 靈活的安裝選項
  • 不限制主泵性能
  • 防止蒸汽或微粒從前級泵遷移到工藝室
  • 防止電源故障時工藝室排氣

技術參數(shù)

  • 關閉壓差:>200 mbar
  • 開啟壓差:<200 mbar
  • 開啟開關時間:<15s
  • 用于合閘切換時間:<0.1s
  • 響應時間切換時間:<0.05s
  • 機身材質:鋁
  • 密封材料:氟橡膠

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